半導體測試機，作為半導體生產(chǎn)流程中不可或缺的一環(huán)，對于確保半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和性能具有至關(guān)重要的作用。
一、工作原理
半導體測試機通過探針卡（probe card）和探針臺（prober）來進行電學測試。探針卡作為自動測試機與待測器件（DUT）之間的接口，負責在電學測試中傳遞進出wafer的電流。探針臺則提供wafer的自動上下片、找中心、對準、定位以及按照設(shè)置的步距移動Wafr的功能，確保探針卡上的探針能夠精確對準硅片相應(yīng)位置進行測試。測試機（tester / ATE）則控制整個測試過程，作為電壓或電流源并能對輸出的電壓和電流進行測量，同時通過測試軟件實現(xiàn)測試結(jié)果的分類、數(shù)據(jù)的保存和控制、系統(tǒng)校準以及故障診斷。
二、應(yīng)用領(lǐng)域
半導體測試機廣泛應(yīng)用于電子制造和半導體生產(chǎn)等領(lǐng)域。在生產(chǎn)檢測中，半導體測試機能夠快速、準確地測試半導體器件，篩選出優(yōu)良品質(zhì)的器件，確保產(chǎn)品質(zhì)量。在科研領(lǐng)域，半導體測試機可以幫助科研人員提高實驗數(shù)據(jù)的準確性和可靠性。此外，半導體測試機也是電子維修工程師的必備工具，能夠通過測試技術(shù)快速確認器件故障，提高維修效率。
三、重要性與意義
半導體測試機在半導體生產(chǎn)流程中扮演著舉足輕重的角色。通過精確的電學測試，半導體測試機能夠確保半導體器件的功能和性能達到設(shè)計要求，從而保障半導體產(chǎn)品的整體質(zhì)量和可靠性。同時，半導體測試機還能夠提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，為半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供有力支持。
綜上所述，半導體測試機是半導體產(chǎn)業(yè)中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備，對于確保半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和性能具有至關(guān)重要的作用。
